FS LINE | FS LINE Hybrid | |
探頭方式 | 單探頭的機械掃描式 | 對應機械掃描或相位陣列探頭的電子掃描等兩種方式 |
FS LINE擁有清晰度的測量,且以FineSAT為基礎而操作方便,同時也注重安全性。
FS LINE Hybrid在低頻率的陣列探頭上實現了高阻尼化。 因此,靶材和背板的接合檢查,以及靶材內部的空洞檢查便能夠同時進行。
同時傳輸的數量 | 最多16振動子 |
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對應振動子數 | 最多192振動子 |
陣列方向電子聚焦 | 可編程 |
接收頻率 | 10~50MHz |
FS LINE Hybrid規格(陣列關係)
有效掃描範圍 |
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800×800 |
2,000×1,500 |
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