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Hitachi

概要

FS LINE
(mp4格式)

像是FPD、針對太陽能電池的濺鍍靶材或陶瓷零件等越來越大型的材料、零件,FineSAT系列裝置無法對應的大型檢查對象,採用大型掃描器和大型水槽來對應的裝置便是FS LINE。
本公司也備有FS LINE Hybrid,此裝置是單焦點探頭用的FS LINE再加上同時使用單焦點探頭和陣列探頭,可以縮短檢查大型對象的時間。
此外,選配件也有為了檢察筒狀/圓柱狀對象表面的旋轉台。水槽或掃描器的尺寸也可以商量,敬請洽詢。

  FS LINE FS LINE Hybrid
探頭方式 單探頭的機械掃描式 對應機械掃描或相位陣列探頭的電子掃描等兩種方式

特徵、規格

FS LINE擁有清晰度的測量,且以FineSAT為基礎而操作方便,同時也注重安全性。

FS LINE Hybrid在低頻率的陣列探頭上實現了高阻尼化。 因此,靶材和背板的接合檢查,以及靶材內部的空洞檢查便能夠同時進行。

同時傳輸的數量 最多16振動子
對應振動子數 最多192振動子
陣列方向電子聚焦 可編程
接收頻率 10~50MHz

FS LINE Hybrid規格(陣列關係)

掃描器有效掃描範圍 (標準規格)

(單位:mm)
有效掃描範圍
800×800
2,000×1,500

※請向我們詢問其他掃描範圍