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此最新機型掃描器的最大掃描速度為2,000mm/s，大幅提升了測量數據的點數量。
査看詳情
此裝置基本功能完善，擁有單焦點探頭專用裝置特有的高解析度，並且實現了高速化。
此機種擁有FineSAT的功能，並進一步提高了解析度。
一台裝置就能做到高解析度的單焦點探頭掃描與高速影像顯示的電子掃描。
藉由電子掃描方式而能夠即時顯示影像的高通量裝置。
此裝置可用來檢查大型檢測對象。
晶圓專用裝置，有單焦點探頭掃描和電子掃描方式，也適用於無塵室。
