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Hitachi

WAFER LINE

概要

画像
適用4至8英寸的WAFER LINE
（可對應晶圓盒）

WAFER LINE是SOI・黏合晶圓等晶圓檢測的專用機器。
可根據您的需求，從自動輸送、自動測量到自動判斷，可全自動執行。
我們已經累積了在許多客戶的量產線連續運行的成果，並得到了相當高的評價。

特徵、規格

根據您的需求，我們還可以製作以下規格的裝置。

用於設置半導體前端工程的生產線
裝置內處理室清潔度等級3（ISO）或更高（我們會在無塵室裡把裝置組裝起來）
SUS機箱、FOUP兼容
高速檢查
與具有相同解析度的單焦點探頭規格相比，電子掃描式陣列探頭規格可以做到高速顯示。
（機械部分的動作很少，也有助於保持清潔度）
對應的晶圓 4～12英吋晶圓