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FS LINE采用大型扫描仪和大型水槽，可应对FineSAT系列装置不能应对的大型对象物（如FPD、面向太阳能电池的溅镀靶材、陶瓷零部件等不断大型化的材料、零部件）的检查。
除了单焦点探头用的FS LINE以外，还准备了同时使用单探头和阵列探头，可以缩短大型对象物的检查时间的FS LINE Hybrid。
同时，作为选购件，还准备了用于检查筒状/圆柱状对象物的表面的旋转台。关于水槽和扫描仪尺寸，也请随时咨询。
| FS LINE | FS LINE Hybrid | |
| 探头方式 | 单探头的机械扫描方式 | 支持机械扫描或相控阵探头电子扫描两种方式 |
FS LINE能进行高精度的测定，还拥有基于FineSAT的使用方便性，並重视安全性。
FS LINE Hybrid在低频范围的阵列探头上实现了高阻尼化。 这样，可同时进行靶材和背板的接合检查和靶材内部的孔隙检查。
| 同时发送接收数量 | 最多16个振子 |
|---|---|
| 支持振子数 | 最多192个振子 |
| 阵列方向电子聚焦 | 可编程 |
| 接收范围 | 10～50MHｚ |
FS LINE Hybrid规格(阵列相关)
| 有效扫描范围 |
|---|
| 800×800 |
| 2,000×1,500 |
※请向我们询问其他扫描范围
