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扫描仪最大扫描速度为2,000mm/s，大幅提高测定数据点数量的最新型号。
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在基本功能丰富的单焦点探头专用装置特有的高分辨率的基础上，进一步高速化的装置。
保持FineSAT的功能，进一步提高了分辨率的机型。
通过1台设备实现高分辨率单探头扫描和高速影像显示的电子扫描。
采用电子扫描方式，可实时显示影像的高吞吐量装置。
大型被检体用装置。
晶圆专用装置，有单探头扫描和电子扫描方式，还支持洁净室。
