*写真はオプションを装備しています
超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。
FineSATの3代目となるFineSAT Ⅲは、定評のある分解能などの基本性能を極めるとともに、高速自動測定、透過・反射同時測定機能、欠陥自動判定機能などの解析ソフトを充実させました。さらに、探傷データの一括保存などの使い勝手の向上も実現し、生産工程での多量検査から研究・開発までの幅広い用途で活用されています。
サンプルの出し入れに便利な広い開口部に誤操作防止用エリアセンサを設けるなど、機械的、電気的な事故を防止する機構も標準で装備しています。
小さなサンプルの固定を容易にするマグネットプレート、日常点検に欠かせない標準試験片など装備を満載。このほか、ソフト面でもヘルプ機能の充実などをはじめとする日常の操作性向上にきめ細かく対応しています。
両サイドの大型窓、LED照明、電源スイッチの保護カバー、前面透明パネルの着脱化など、より使いやすく安全に作業ができるように細部にわたって工夫しました。
反射法用として低周波から高周波まで、短焦点距離から長焦点距離まで、測定対象物や測定条件に合わせたプローブを豊富に取り揃えており、 加えて透過法プローブも揃えておりますので、お客様の測定対象物に適切なプローブが見つかります。適切なプローブの選定のお手伝いもさせていただきます。
FineSAT Ⅲでは、波形解析、計測、剥離判定、深度情報などの解析ソフトをさらに進化させました。
±位相、絶対強度、深度データをリアルタイムでデータ比較できます。また、波形重ね合わせ表示では異なる時間軸でも自動で時間軸が調整され保存もできます。
また、独自の画素間補間処理やオートコントラストなど、より見易いデータを手間なく得られます。
マルチゲート機能においては、最大64個のゲート設定が可能で、各ゲート内データと測定条件の一括保存および画像データの1ファイル化を標準装備しました。
さらに、全点波形を取り込み、オフラインでゲート位置変更して映像を再描画する機能も標準装備しています。FFT解析や差分イメージング処理が可能なボリュームスキャン機能(オプション）があれば、
3Dビューアソフト(オプション)を追加することで、より立体的な超音波映像データが構築でき、内部の構造分析を強力にサポートします。
反射強度と深度のプロファイルを同時に表示して複合評価が可能です。
±位相、絶対強度、深度、極性強調をリアルタイムで比較解析ができます。
3Dビューアソフト(オプション)
3Dで形状を復元・可視化し水平・垂直方向とも360°回転させて任意視点で観察したり、任意の位置で断面表示ができます。
| FS100Ⅲ | FS200Ⅲ | FS300Ⅲ | |
| プローブ周波数(MHz) | 5～75 | 5～140 | 5～300 |
| 有効ストローク（X×Y×Z） （mm） | 350×350×80 | ||
| 最大走査速度（mm/s） | 1,000 [公称値] | ||
| 外形寸法（W×H×D） （mm） | 1,590×1,340×940 | ||
| 質量（kg） | 約380 | ||
| 電源（電圧/電流/周波数） | AC100V/15A 50/60Hz | ||
