FS LINE/FS LINE Hybrid

FPDや太陽電池向けのスパッタリングターゲットやセラミック部品等の大型化が進む材料・部品のように、 FineSATシリーズの装置では対応できない大型の対象物の検査を大型スキャナと大型水槽を採用することで対応できるようにしたのがFS LINEです。
シングルプローブ用のFS LINEに加えて、シングルプローブとアレイプローブを併用することで大型品の検査時間を短縮できる FS LINE Hybrid も用意しています。
また、オプションとして筒状/円柱状の対象物の表面を検査するための回転台も用意しています。水槽やスキャナのサイズに関する相談もお気軽にお申し付けください。

FS LINEは、高精度な測定とFineSATベースのユーザビリティで、安全性も重視しています。

FS LINE Hybridは、低周波領域のアレイプローブで高ダンピング化を図りました。 これによって、ターゲット材とバッキングプレートの接合検査とターゲット材内部のボイド検査が同時に実施できます。