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「FineSAT Ⅲ」の機能を強化。微細化・多層化する半導体デバイス・電子部品の検出画像の高画質化に加え、透過法を用いた直径300mm (12インチ)ウェーハなどの大きなデバイスの一括検査を可能にした最新型です。
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スキャナ最大走査速度が2,000mm/sで測定データ点数量を大幅にアップした装置です。
基本的な機能が充実したシングルプローブ専用装置ならではの高分解能に加え、高速化を図った装置です。
FineSATの機能はそのままに、分解能をさらに向上させた機種です。
高分解能なシングルプローブスキャンと、高速映像表示の電子スキャン方式を1台で実現した装置です。
電子スキャン方式によってリアルタイムな映像表示が可能な、高スループットの装置です。
大型被検体用装置です。
ウェーハ専用装置で、シングルプローブスキャンと電子スキャン方式があり、クリーンルーム対応も可能です。
