WAFER LINE(ウェーハライン)：超音波映像装置・検査装置：株式会社日立パワーソリューションズ

概要

4～8インチ用ウェーハライン
（ウェーハカセット対応）

WAFER LINEは、SOI・貼り合わせウェーハ等のウェーハ検査専用機です。
ご要望によってロボットによる自動搬送、自動測定、自動判定まで、全自動で実施することができます。
すでに複数のお客様の量産ラインでの連続稼働の実績を積んでおり、高い評価をいただいています。

ご要望によって、以下仕様の装置の製作も承ります。

半導体前工程の生産ライン設置用: 装置内処理室クリーン度クラス3(ISO)以上（クリーンルームで装置を組立てます）
SUS筐体、FOUP対応
高速検査: 電子スキャン方式アレイプローブ仕様は、同じ分解能のシングルプローブ仕様に
比べて高速表示が可能です。
（メカ部分の動きが少なく、クリーン度維持にも寄与します）

対応ウェーハ

4～12インチウェーハ